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“中图仪器SJ6000激光干涉仪”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | ISO9001 |
| 加工定制： | 否 | 类型： | 激光干涉仪 |
| 品牌： | 中图仪器 | 品种： | 激光干涉仪 |
| 测量范围： | 40m | 测量分辨率： | 1nm |
| 最近工作距离： | 1mm | 用途： | 检测和校准数控机床 |
| 型号： | SJ6000 | 商标： | 中图 |
| 包装： | 拉杆箱 | 产量： | 1000 |
“中图仪器SJ6000激光干涉仪”详细介绍
【产品简介】激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。【产品功能】1.几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等；2.位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等；3.动态性能检测利用动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性(低速爬行)分析。【技术指标】系统性能测量方式：单频稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50kHz预热时间：5-10分钟？工作温度范围：0~40℃？环境温度范围：0~40℃？存储温度范围：-20℃~70℃环境补偿示值误差？空气温度传感器：±0.2℃(0-40℃)，分辨率0.01℃？材料温度传感器：±0.1℃(0-40℃)，分辨率0.01℃？空气湿度传感器：±6%(0-95%)？大气压力传感器：±1mBar(650-1150mbar)线性测量？测量距离：0-40m？测量精度：0.5ppm(0-40℃)？测量分辨率：1nm？测量最大速度：4m/sec角度测量？轴向量程：0-15m？测量范围：±10°？测量精度：±0.6%R±0.5±0.1Mμm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）？测量分辨率：0.1μm/m直线度测量？轴向量程：0.1-4.0m？测量范围：±2.5mm？测量精度：±0.5%R±0.5±0.15M2μm（M为光学镜移动距离，单位：m）？测量分辨率：0.01μm垂直度测量？测量范围：±3/Mmm/m？测量精度：±0.5%R±2.5±0.8Mμm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）？测量分辨率：0.01μm/m平面度测量？轴向量程：0-15m？测量范围：±1.5mm？测量精度：±0.6%R±0.02M2μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）？测量分辨率：0.1μm回转轴分度精度测量？角度测量范围：0-360°？精密转台角度增量：5°？精密转台分度精度：±1秒？精密转台重复性：0.2秒
