洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。产品属性洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个...
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